上海市真空学会成立于1985年，汇集了上海地区从事真空科学与技术的中外企业、高校与研究院所各种人才，凝聚了上海真空科学与技术领域的科技工作者。首任理事长是华中一教授，曾任复旦大学校长、中国真空学会理事长。学会现有团体会员单位115家，个人会员1221名。其中，中国科学院院士4人，海外科学院院士3人，外籍会员3名，高级会员143人。学会第九届理事会由60名理事组成，其中常务理事19人。
    学会设有真空设备、真空应用、真空薄膜、真空冶金材料、真空电子与显示和真空冷却保鲜与冻干等六个专业委员会。建有上海市科技评价机构、学会专家库、上海真空学会网等。学会组织举办各种学术交流会，联合主办了11届华东真空学术交流会，编辑出版论文集并评选出优秀论文，进一步推动长三角地区真空技术的繁荣和发展。开展科普与编辑活动，出版《上海真空》报，该报创办于1990年。承接完成科技咨询服务项目百多项。
    学会创立上海真空青年创新奖和上海真空科技进步奖，每年轮流评选一次。进一步激发真空科技人才的创新性，为促进真空科技发展发挥了积极的作用。学会获得上海市科技评价机构资格证书，承接政府职能转移，开展真空技术领域的第三方科技评价工作。学会涵盖的领域从真空技术拓展到纳米材料、光伏器件、显示器件等，学会已成为一个上海地区从事真空科学与技术研究与交流、企业之间技术合作与转让的重要平台。
    学会多次荣获中国科协和上海市科协颁发的荣誉奖项，为真空科技事业的发展做出积极贡献，被上海市科协授予三星级学会荣誉称号。

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