微纳电子应用论坛-邀请函
真空技术在先进微纳电子行业中的应用论坛
2022中国工博会科技论坛暨第四届上海真空科技进步奖颁奖
邀 请 函
各会员单位：
兹定于2022年12月11日在复旦科技园集成电路融创中心（复创芯）召开真空技术在先进微纳电子行业中的应用论坛，会议以“微纳电子，创新应用”为主题，同时举行第四届上海真空科技进步奖颁奖仪式。
会议围绕2022中国国际工业博览会科技论坛主题，结合真空相关产业技术发展而开展真空技术在先进微纳电子行业中的应用论坛报告会，推进微纳电子技术产学研合作，推进微纳电子技术与相关领域的融合发展，推动经济社会和科技发展，服务上海具有全球影响力的科技创新中心建设。
报告内容：
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报告人 |
报告题目 |
单位 |
职务职称 |
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孙 卓 |
纳米光电净化技术与应用 |
华东师范大学/亚太材料科学院 |
教授/院士 |
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汤洪明 |
基于核心部件技术自主可控的低温真空泵的产业化 |
苏州八匹马超导科技有限公司 |
董事长/ 总经理 |
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卢红亮 |
原子层沉积在先进半导体技术中的应用 |
复旦大学 |
教授 |
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何晓峰 |
应用于微纳米加工-深刻蚀/微透镜刻蚀工艺技术 |
爱发科真空技术（苏州）有限公司 |
部长 |
会后代表合影留念，参观复旦科技园集成电路融创中心（复创芯）茶歇。
因受疫情管控，本次会议采用线上线下相结合，线下参会人数限额30人，邀请从事真空微纳电子相关技术人员及第四届上海真空科技进步奖获奖单位和2022年加入团体会员派一人参加。线上会议：腾讯会议平台同时链接。
会议时间：2022年12月11日（星期日）下午13:30开始
会议地点：杨浦区国泰路11号，复旦大学科技园大厦副楼5楼会议室（园区副楼7-11超市楼上）。
交通：自驾（内环四平路出口左转）；
地铁10、18号线国权路站3号出口，出来向右步行200米。
为便于会议安排，收到请回执。
主办：上海市真空学会
承办：真空半导体专业委员会
复旦科技园集成电路融创中心
2022年12月4日
真空技术在先进微纳电子行业中的应用论坛参会回执
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姓 名 |
单 位 |
手 机
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职 务
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请于12月8日前发送《回执》至：shanghai.zk@163.com
学会联系电话：021-65127271 联系人：康红伟 13918530338
