Pfeiffer Vacuum-Fab Solutions 新品首发｜ATH 4506 M 涡轮分子真空泵

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 新品首发｜ATH 4506 M 涡轮分子真空泵

全球 Busch Group 旗下成员 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 现推出 ATH-M 系列中最大型号的 ATH 4506 M 涡轮分子真空泵，进一步丰富了其产品阵容。

这款新型涡轮分子真空泵对氮气的抽速达 4,500 l/s，适用于半导体制造、大面积涂层等工艺，以及对气体流量要求较高的应用，例如用于空间模拟的大型真空室的抽真空作业。

即插即用更便捷，高效节能双在线

ATH 4506 M 搭载集成控制器，无需额外配置独立外部控制单元，大幅简化安装流程，同时节省系统设置空间，让设备快速融入现有生产线。更值得一提的是，该真空泵仅需 9 分钟即可达到 23,500 转/分钟（rpm）的全速运行状态，助力生产流程快速启动、提升整体效率；设备闲置时可开启怠速模式，有效降低功耗，践行绿色节能生产理念，为企业减少运营成本。

工艺适配温控系统，精准护航稳定生产

不同工艺对设备运行温度的需求各不相同，为此 ATH 4506 M 量身打造两种版本，精准匹配各类需求：

•       非加热版本：适配洁净、无腐蚀性的应用场景，无需额外加热，如大面积涂层工艺；

•       TMS 温度管理版本：最高温度可达 90°C，适用于半导体制造及其他腐蚀性工艺，适度加热有效防止冷凝和颗粒生成。

通过匹配工艺需求的温度控制，ATH 4506 M 可最大限度减少泵内冷凝与颗粒积聚，降低内部组件磨损，避免非计划停机，既能提升设备运行可靠性，也能保障产品质量稳定，助力企业降低综合运营成本、提升核心竞争力。

状态检测与数字化集成，运维管理更省心

ATH 4506 M 配备内部传感器，可检测温度、吹扫状态、转速及轴外移动情况。通过实时监测数据，操作员可及时掌握真空泵运行状态，便于早期发现异常、及时处理，有效避免非计划停机，为预测性维护提供有力支撑。

同时，真空泵搭载物联网（IoT）功能，可与数字监控系统相连，从而能够集成到自动化生产环境中，适配现代制造业智能化、自动化升级趋势，进一步降低人力运维成本，提升生产管理效率。

此外，ATH 4506 M 具备 IP54 防护等级，可有效防尘、防溅水，大幅提升设备在苛刻工业环境中的适应性，延长设备使用寿命，为企业长期稳定生产保驾护航。