隐冠半导体研制的高真空纳米精度多轴运动台项目顺利通过科技成果鉴定

隐冠半导体研制的高真空纳米精度多轴运动台项目
顺利通过科技成果鉴定

   2026年6月2日，上海市真空学会组织行业专家，对上海隐冠半导体技术股份有限公司与苏州隐冠半导体技术有限公司联合研制的 “高真空纳米精度多轴运动台” 项目开展科技成果鉴定。本次鉴定委员会由亚太材料科学院院士 、华东师范大学孙卓教授担任主任，复旦大学卢红亮教授、上海大学侯雪玲教授、复旦大学莫晓亮副研究员、上海市真空学会韩建华高级工程师组成鉴定专家组。会上，隐冠首席科学家杨晓峰致欢迎辞，介绍公司发展概况，并阐述项目立项背景、研发目标与经济效益，项目负责人作项目研制总结汇报。专家组认真听取项目汇报、审阅全套技术及佐证材料，经质询讨论与综合评审，形成如下意见；

 项目围绕高端半导体装备需求，攻克了多项高真空纳米级精密运动核心技术。研发的热管理、磁屏蔽以及控制算法等技术，实现了运动台的纳米级精准定位。同时，实现了真空压电电机、静电吸盘及其控制器等核心零部件国产化，带动了真空光纤法兰、真空线缆等上游配套产业链发展。

 研制的高真空纳米精度多轴运动台实现了产业化，经济和社会效益显著。经测试与科技查新，项目整体技术达到了国内领先，主要指标达到国际先进水平。项目自主创新能力突出，累计申报了26项相关专利（其中发明专利授权11项），达到了预期研制指标。鉴定委员会一致同意本项目通过科技成果鉴定。