2026第六届上海真空科技进步奖获奖公示

奖励等级

项目名称

获奖单位

获奖人员

特等奖

高性能吸气材料和 P 系列吸气剂泵研发及产业化

上海晶维材料科技有限公司

向杰，黄水明，王成，吕艺聪，周浩，林剑，刘萌，侯雪玲,鲁涛

特等奖

高真空强激光极端条件下的气凝胶靶材与制靶技术

同济大学

杜艾，周斌，杨建明，沈军，吴广明，张志华，高国华，王晓栋

特等奖

GCQa-1250P超大型气动真空插板阀

上海万可姆高科技有限公司

费海鸿、费剑波、黄杰

特等奖

低能大束流离子注入机

上海凯世通半导体股份有限公司

张长勇、余舒婷、王宇琳、杨立军、穆小山、黄丽、王占柱、孟庆栋、李轩、姜畅

一等奖

新型三银高透可钢镀膜技术及成套装备与应用

中建材光电装备（太仓）有限公司  

李险峰、王程、张山山、王贝、井治、张金鹏、罗雨潇、韩德刚、钱宝铎

一等奖

自主可控半导体设备质量流量控制系统关键技术研发及产业化

江苏高凯精密流体技术股份有限公司

刘建芳、顾守东、焦晓阳、江海、石振、焦文斌、刘泽康

一等奖

航天器全剖面地空跨流态极端环境模拟关键技术及应用

上海卫星装备研究所

张世一、李灿伦、王晓占、李卓慧、景加荣、邹晓君、王飞、祁松松、倪俊、王松超、张静、董德胜、孙松刚、裴莹莹

一等奖

A1000PC原子层沉积设备及工艺开发

光驰半导体技术（上海）有限公司

蓝芝江、谢雄星、秦志勇、闫争明

一等奖

全氟醚材料在半导体设备的应用

沸点密封科技（江苏）有限公司

陈守满、金都、季磊磊

二等奖

大科学装置用高灵敏度残余气体分析仪开发及应用

上海航天裕达科技有限公司

景加荣、于佳佳、任维松、穆辉、侍尉、周旭、沈辉、成功、庞骏德、陈琦、唐曹伟、徐宗良、姚如娇、裴莹莹、王玉涵

二等奖

SAW 芯片用高均匀性下沉腔式薄膜沉积设备的研发

苏州佑伦真空设备科技有限公司

杜宝胜、王祥、孙家晟、

陈福、邓停子、信建岭

二等奖

大型方箱双通道无天轨食品冻干机系统及其智能化关键技术

上海锦立保鲜科技有限公司、江苏锦立冷链科技有限公司

雷海斌，周志钢，徐亮亮，孙洪涛，孙怀远

二等奖

高性能蒸发镀膜机关键技术研发及产业化

光驰科技（上海）有限公司

龙汝磊、黄永长、贾兆星、周晨、王华、任海峰、冈田浩和

二等奖

分体式磁致伸缩液位计

飞卓科技（上海）股份有限公司

李博文、闫海、吴晓峰、惠盼洋

二等奖

应用于半导体离子注入的主动式双变频智能多型串并联低温泵系统研发及产业化

苏州八匹马超导科技有限公司

李东成、广兴野、林英豪、汤洪明

二等奖

高精度真空蒸发镀膜设备的开发和应用

爱发科真空技术（苏州）有限公司

俞强、沈坚、高正华、徐中邦、王鸿帅、钱军、向皓、朱齐冬