通嘉科技《气体解离型一体机Megrez》技术成果鉴定会顺利召开

通嘉科技《气体解离型一体机Megrez》技术成果鉴定会顺利召开

2026年7月24日，《气体解离型一体机Megrez》技术成果鉴定会在通嘉科技顺利召开。本次会议由上海市真空学会组织行业专家，对通嘉科技自主研发的“气体解离型一体机Megrez”项目开展技术成果鉴定会。

权威鉴定

本次专家组汇聚了亚太材料科学院院士、华东师范大学孙卓教授，上海大学李喜峰研究员，同济大学杜艾教授，复旦大学莫晓亮副研究员，上海市真空学会韩建华高级工程师等真空设备领域五位专家并由孙卓院士担任鉴定委员会主任。

会上，通嘉科技副总经理汪鹏致欢迎辞，介绍了项目研制立项背景及研发情况。专家组查看了Megrez生产现场，听取了项目研制情况汇报，审阅了科技查新报告、第三方认证报告、用户使用报告等鉴定文件，资料完整规范，符合成果鉴定条件。专家组针对技术报告开展问询与交流，经讨论一致形成科技评价报告。

鉴定结果

气体解离型一体机Megrez是适配半导体氮化钨工艺的真空泵防护核心设备，实现了远程等离子系统与干泵一体化集成，整体技术先进，具有良好的行业适配性与实用性。

项目与工艺主设备联动，可根据工艺主设备工艺参数实时调整NF₃流量，显著降低NF3使用量，同时降低设备运行能耗；通过材料表面改性，提升真空系统的耐腐蚀性，使设备的使用寿命延长至10000小时以上。

项目攻克高温防腐、精准气控、温度调控等关键技术，搭载PLC全域测控与机台联动系统，通过SEMI S2、S6、F47行业权威认证，经两年现场验证，Megrez可长期稳定运行，关键性能指标优于国内外同类产品指标。

Megrez采用模块化集成设计，大幅降低现场安装工程量，运维便捷，可适配半导体产线连续化批量生产，有效解决行业技术难题，共获得7项专利授权。Megrez实现了国产化替代，保证产业链安全，社会价值显著，整体技术达到国内领先、国际先进水平。

通嘉科技

通嘉科技Grand Hitek成立于2012年，是半导体真空装备核心供应商，聚焦干式真空泵、分子泵、集成一体机及一站式真空解决方案，服务半导体、新型显示、光伏、锂电等高端制造领域，致力于攻坚“卡脖子”技术，成为半导体真空系统首选品牌。