上海真空科技进步奖历届获奖项目
2024第五届上海真空科技进步奖获奖项目名单
| 奖励等级 | 项目名称 | 获奖单位 | 获奖人员 |
| 特等奖 | 国产氧化钒薄膜沉积设备的研发及产业化 | 无锡尚积半导体科技有限公司 | 王世宽 宋永辉 许 磊 张陈斌 |
| 一等奖 | 航天器用超软薄膜真空磁控溅射卷绕镀膜技术及应用 | 上海卫星装备研究所 | 李灿伦 倪 俊 景加荣 范秋林 郭 腾 陈延龙 王 飞 李绍杰 张世一 祁松松 董德胜 孙松刚 |
| 一等奖 | 全自动高真空双源蒸镀薄膜沉积设备的研发及产业化 | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 | 杜宝胜 薛家骏 信建岭 王 祥 顾建强 张银丹 |
| 一等奖 | 高产能厚铝PVD溅射机台 | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 | 周 云 解文骏 陈金良 潘钱森 张 慧 曹 辉 睢智峰 汪昌州 张 铧 宋维聪 陈金良 |
| 一等奖 | 高真空精密运动系统 | 上海隐冠半导体技术有限公司 苏州隐冠半导体技术有限公司 |
江旭初 陈守俊 杨庆华 胡 兵 陈啸虎 孙志浩 彭仁强 |
| 二等奖 | 真空干法刻蚀设备高量产化高兼容性开发及应用 | 爱发科真空技术（苏州）有限公司 | 徐中邦 高正华 沈坚 钱军 张磊 向皓 谢德昌 陈辉 |
| 二等奖 | 仪器用超高速小型分子泵 | 上海裕达实业有限公司 | 黄 涛 张延颉 陈 琦 宁远涛 景加荣 吴晓鹏 黄佳荣 裴莹莹 童栋 陈延龙 任维松 |
| 二等奖 | 铅铋快堆燃料包壳耐冲蚀涂层系统研制和工艺探索 | 上海福宜真空设备有限公司 | 熊 凯 施 毓 杨 喆 刘欣扬 |
| 二等奖 | 电容薄膜真空计10 Torr | 上海梅科伍德电子科技有限公司 | 张 斌 杨智清 鲍 春 谢志清 |
| 二等奖 | 超高真空腔体 | 畅桥真空科技（浙江）有限公司 上海畅桥真空系统制造有限公司 |
孟 进 袁 坤 |
| 二等奖 | +MEMS芯片晶圆级封装用吸气靶材及高性能纳米级吸气薄膜研发 | 上海晶维材料科技有限公司 | 鲁 涛 侯雪玲 向 杰 尚 敏 黄水明 周 浩 马黎明 彭昭军 |
| 二等奖 | 真空衰减法阳性样品校准装置 | 上海东贝真空设备有限公司 | 王金锁 |
2022第四届上海真空科技进步奖获奖项目名单
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奖励等级 |
项目名称 |
获奖单位 |
获奖人员 |
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光伏用干式螺杆真空泵 |
上海汉钟精机股份有限公司 |
赖庆峰、薛军、付娜、陈峰、盛晨艳 |
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一等奖 |
压缩空气能效智能化管控平台 |
罕森智能科技（上海）有限公司 上海安可科技股份有限公司 北京科技大学计算机与通信工程学院 |
侯志昌、李鹏举、汪红兵、杨国瑞 |
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一等奖 |
低温等离子体及催化剂协同低压装备系统应用研究 |
华东师范大学 |
宋也男、吴文杰 |
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二等奖 |
红外热成像探测器芯片真空封装用电激活微型吸气剂的研发 |
上海晶维材料科技有限公司 |
鲁涛、向杰、侯雪玲、黄水明、吕艺聪、马黎明、周浩、尚敏、田治飞 |
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二等奖 |
质子交换膜燃料电池金属极板涂层 |
纳峰真空镀膜（上海）有限公司 星氢源（上海）科技有限公司 |
史旭、唐智、王婷、刘亚辉、张玉好、徐长亮 |
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二等奖 |
PMF系列半导体用干式真空泵 |
上海汉钟精机股份有限公司 |
赖庆峰、晋能龙、薛军、付娜、陈峰、盛晨艳 |
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三等奖 |
PA系列微油螺杆真空泵 |
上海汉钟精机股份有限公司 |
赖庆峰、薛军、付娜、陶奇间 |
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三等奖 |
耐事故核燃料包壳管表面防护涂层制备系统的研究 |
上海福宜真空设备有限公司 |
杨元才、熊凯、户家周、郑战伟、翁士萍 |
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三等奖 |
DF78超高真空全金属屏蔽插板阀 |
日扬电子科技（上海）有限公司 |
王志紘、顾文伟、刘长江、曹成贵 |
2020第三届上海真空科技进步奖获奖项目名单
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奖励等级 |
项目名称 |
获奖单位 |
获奖人员 |
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一等奖 |
大尺寸高端氧化铟锡（ITO）靶材关键技术开发及产业化 |
上海大学 广西晶联光电材料有限责任公司 复旦大学 |
李喜峰、黄誓成、张群、彭聪
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一等奖 |
新型航天器多功能真空低温环境模拟装备 |
上海卫星装备研究所 |
景加荣、李灿伦、王飞、齐晓军、季琨、张蕊、董德胜、任维松、祁松松、李绍杰 |
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二等奖 |
智能型真空充氮杀虫灭菌消毒设备 |
上海汇海真空机械设备有限公司 |
邵明官、邵滔滔、李春华、邵海芹、邵蓉、李欣怡 |
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二等奖 |
12inch厚银工艺蒸发镀膜设备的开发和应用 |
爱发科真空技术（苏州）有限公司 |
王福平、王骏翔、钱军、石海泉 |
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二等奖 |
高精度控温电加热器研发 |
上海宏端机密机械有限公司 |
黄永杰、朱正文、胡军、王旋 |
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三等奖 |
脉冲式周期性加压真空热炉研制 |
上海晨华科技股份有限公司 |
徐炜、孙矿、牛熊、方晓翔、张光远 |
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三等奖 |
新型镀膜设备与工艺 |
上海繁枫真空科技有限公司 蒙城繁枫真空科技有限公司 |
廖渊琳、李明仁、苗润财 |
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三等奖 |
大口径低温真空泵及其核心部件的研发和产业化 |
苏州八匹马超导科技有限公司 |
汤洪明、杜希阳、郭如勇、陈芳星、周洪吉、冯苌春、冯斌 |
2018第二届上海真空科技进步奖获奖项目名单
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奖励等级 |
项目名称 |
获奖单位 |
获奖人员 |
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一等奖 |
用于柔性电子器件的卷对卷真空设备及材料的研制 |
上海产业技术研究院
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朴贤卿、蔡亚果、高维张哲娟、竹子川、 李德善、陈晓红 |
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一等奖 |
多功能真空快速冷却机 |
上海锦立保鲜科技有限公司 |
周志钢、雷海斌 孙洪涛、刘学忠
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二等奖 |
高真空蒸发镀膜设备4镀锅方式的开发及应用 |
爱发科真空技术（苏州）有限公司 |
钱军、王福平 |
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二等奖 |
《食品真空冷却机》行业标准 |
1.上海锦立保鲜科技有限公司 2.上海玉成干燥设备有限公司 3.上海炬钢机械制造有限公司 4.上海坤菱科技有限公司 |
孙企达、雷海斌 薛吉强、陈文洁、陈德
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三等奖 |
电磁双先导真空压差阀 |
上海磊航机械制造有限公司 |
方保华、张前淞 |
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三等奖 |
真空冷冻干燥制备超细天麻粉的方法 |
上海玉成干燥设备有限公司 |
孙企达，陈德 |
