碲镉汞分子束外延设备通过技术成果评价
昆明物理研究所为了满足国家安全战略需求,于2020年启动研制碲镉汞分子束外延设备项目,对MBE设备的真空度、温度、束流等关键控制技术进行了攻关,成功研制了一台4英寸衬底的碲镉汞分子束外延设备。2023年5月15日,受昆明物理研究所委托,由上海市真空学会组织的专家评审组在复旦大学光电研究院召开了由昆明物理所研制的“碲镉汞分子束外延设备”技术成果鉴定会。
鉴定委员会由华东师范大学教授/亚太材料科学院孙卓院士、复旦大学微电子学院卢红亮教授、上海大学平板显示工程技术研究中心李喜峰教授,复旦大学光电研究院莫晓亮副研究员和上海市真空学会韩建华高级工程师等5名专家组成。鉴定委员会听取了昆明物理研究所王善力研究员团队研制的完成情况汇报,观看了设备的视频录像。审阅了研制总结报告、相关应用证明、阶段验收表、验收规程、先进性说明、市场情况分析等报告资料。
经鉴定委员会讨论认为;碲镉汞分子束外延设备的研制成功打破了该设备国外对中国的禁运,实现了国内类似设备的首台销售,经济效益显著。可满足未来国内对MBE设备的需求,填补了云南省在此类设备的空白,有力地支持了国内半导体设备的发展。该碲镉汞分子束外延设备技术指标达到设计要求,设备研制水平处于国内一流,达到国际先进水平。建议该设备在真空行业内加强推广,为实现科技自立自强多作贡献。
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