第七届上海真空青年创新奖表彰决定

  上海市真空学会第七届上海真空青年创新奖

表 彰 决 定

   为表彰和奖励为我国真空科技事业作出突出贡献的上海市优秀青年科技工作者，调动广大真空青年科技工作者的积极性和创造性，根据《上海真空青年创新奖评审办法》，上海真空青年创新奖评委会按照公平公正原则，独立客观的进行评审，经评委会专家综合评价打分，评审结果网上公示无异议，决定将2023年第七届上海真空青年创新奖授予下列真空青年科技工作者：

李晓冬   教 授    华东师范大学物理与电子科学学院

丁星伟  副研究员  上海大学新型显示与系统集成教育部重点实验室 

黄永杰  技术部长  上海宏端精密机械有限公司

此次评奖活动得到了上海市科学技术协会立项支持，上海繁枫真空科技有限公司和上海宏端精密机械有限公司提供了赞助，在此一并表示感谢！

上海真空青年创新奖评审委员会

2023年7月18日  

附：获奖者简介：

李晓冬，华东师范大学物理与电子科学学院，教授（紫江优秀青年），博士生导师，国家高层次青年人才。2016年博士毕业于中科院宁波材料所，2019年加入华东师范大学。主要从事有机/钙钛矿光电材料与器件的研究。累计发表SCI 论文60 余篇，它引>3000 次。

近五年，围绕稳定性潜力大的反向钙钛矿电池，取得系列创新性研究成果，并于2022 年1 月创造当时反向钙钛矿电池效率的世界纪录，以第一/通讯作者在Science、Sci. Adv.、Nat. Commun.等国际期刊发表SCI 论文16 篇；相关成果多次被Science、Joule、Chem. Rev.、J. Am. Chem. Soc.等专文亮点评述或作为代表性工作重点评价。先后被国内外30 多个课题组跟随、借鉴；被加拿大皇家科学院和工程院院士Edward Sargent，瑞典皇家科学院和工程院院士Anders Hagfeldt 等大篇幅积极评价。

作为负责人，先后主持中组部青年拔尖人才、国家自然科学基金面上、青年项目以及上海市碳达峰碳中和专项等；作为研究骨干，参与中科院前沿研究重点计划、浙江省重点研发等；多次受邀参加亚洲光电子会议（Photonics Asia 2022）、国际光子学和电磁学研究（PIERS）、国际光通信与网络（ICOCN）等国内外专业学术会议并做邀请报告。

丁星伟，博士，上海大学新型显示与系统集成教育部重点实验室副研究员，获上海市青年科技英才扬帆计划，获2020年上海市科技进步一等奖（排4），主持国家自然科学基金面上项目1项，青年项目1项，主持中国博士后科学基金1项，主持企业横向课题6项，作为项目骨干完成企业横向课题2项。第一或者通讯作者发表SCI论文30余篇，包括IEEE EDL, IEEE TED，IEEE JEDS，Science Bulletin，JMCC，Applied Surface Science等。授权发明专利2项。主要从事基于真空技术的原子层沉积的氧化物薄膜晶体管、原子层沉积工艺开发、原子层沉积设备开发、基于原子层沉积技术的薄膜封装方面的研究工作。首次基于原子层沉积技术采用NH3实现了氧化锌晶体管的阴性掺杂，大幅提高了器件的稳定性；首次开发了一种快速的氨浴的方法实现N对氧化物晶体管的掺杂，提升了器件的稳定性。实现了柔性基板上Li掺杂NiO的P-type晶体管的构筑。开发出了8inch快速原子层沉积设备。基于原子层沉积技术合作的课题中，作为负责人完成的企业委托课题“用于显示器制造工艺开发的先驱物的评估”共完成3期（第4期洽谈中），是申请人前期科研积累到实际工业应用的一次成功的转化，基于ALD技术的氧化物TFT性能全面超越目前产业化的TFT。作为项目骨干完成的企业合作开发课题“薄膜封装工艺技术开发”，OLED在加速老化环境下寿命超550小时，满足企业小规模批量生产的要求，促进了柔性显示器产业化的发展。为某企业设计了原子层沉积设备的工艺腔体，推动了该技术的产业化进程。为华星光电、华为、维信诺，大赛璐等企业提供了重要的技术服务，为某军舰重要部件提供了重要的原子层沉积技术支持。

黄永杰，1982年5月生，中南林业科技大学学士，自2009年加入上海宏端精密机械有限公司并任技术部长以来，在技术领域带领团队不断研究、不断开发、不断创新，对产品研发、生产开展全程技术支持、服务； 参与研发创新，推动企业向前发展，为企业技术发展奠定了坚实基础，并实现了行业领域内多项关键技术突破。

    在半导体加热板领域，由于国内起步的比较晚，绝大部分的结构、技术等都被封锁，导致国内的很多半导体加热盘都依赖进口，在成本管控以及交货及时率上都满足不了需求。通过投入大量的精力反复的摸索、研发、改善，积累了大量的理论数据及实践经验，终于攻克了重重难点，在使用性能以及使用寿命上，已经跟上了国际的步伐，甚至在某些方面还实现了超越。

在光伏PECVD镀膜行业，开展了真空镀膜设备加热器关键工艺技术研究项目，成功开发了一套加热器抗反应技术和抗腐蚀工艺，以及快速升温新工艺，成功解决了真空镀膜设备在加热过程中一直存在的短板，并实现了产业化生产应用，显著提升了真空镀膜加热器的使用寿命，为真空镀膜行业做出了重要贡献。在加热器抗反应技术和抗腐蚀工艺，先后采用不同的金属材料进行多次实验验证，反应和腐蚀现象得到了明显改善，加热器的使用寿命有了明显提升。

蒸发镀膜是真空镀膜的一种，且目前已成为常用的镀膜技术之一，蒸发镀膜一般是在真空条件下，通过加热器将蒸发物质（如金属、化合物等）以原子团或者离子等形式被蒸发出来，并冷凝沉降在待镀工件上形成薄膜的过程。薄膜的厚度及均匀性与蒸发速率和镀膜时间等都有密切的关系。旧设备用的蒸发加热器大多是用陶瓷片加热器。由于陶瓷片易碎，在使用过程中很容易损坏，寿命远远达不到使用要求，一旦加热器损坏，使设备停机，造成的损失不可估量。铠装加热器有易成型、寿命长、性能稳定等优点，通过不断的研发测试，终于满足了使用需求，替代了原有的陶瓷片加热器，使得设备能够稳定的长时间不间断工作。作为专利发明人，本人获得了一些高质量专利，参与的发明专利5项、实用新型专利15项。