上海汉钟精机股份有限公司

上海汉钟精机股份有限公司

   汉钟半导体系列真空泵推出PMF系列、IPH系列、IPM系列等半导体真空泵对应产品，我们的产品不仅销售于国内市场，在国际上也有很高的反响，汉钟精机的销售、产能、服务等实力都在不断进步、提升。

        PMF系列专注于半导体干净制程应用，体积小巧、安装方便、节能效果显著等特点，它的稳定性让使用者放心，它的性价比更是让经销商及采购商为公司节省大量资金，被很多新老客户追捧和赞赏。

   在相对进口泵前一代产品有7-8成的电费节省空间，做到了新老产品替换2年返本的巨大优势；在对应新一代的进口产品我们也依旧有不小的节能优势。

         IPM系列专注于半导体中度严苛工艺制程应用，包括Ashing、Oxide Etch、Si Etch，体积小巧、安装方便、节能效果显著，稳定性好，已在多家客户上线应用。

        iPH系列专注于半导体严苛制程应用，适用于Etch、Implant、SACVD、MOCVD、PECVD、LPCVD、ALD等工艺，独特的均匀冷却与N2加热恒温系统设计，避免大面积制程物沉积，相对进口产品能有效的延长使用寿命。为半导体配备了耐腐防、耐粘液、防粉尘等专用涂层，能更好解决多粉尘、强腐蚀等困扰问题，做到长期稳定的生产状况。

   我们在8、12寸都有相应的实绩，目前PMF系列有100、600m³/h抽气量的真空泵，IPM系列有100、600、1200m³/h抽气量的真空泵，随着国内8寸、12寸的逐步导入，目前iPH系列产品能满足各严苛制程抽气量的选择。已做到长期无返修、无保养，减少了客户端的更换频率，能更好的为产能服务。

   随着真空科技的进步和研发人员的不懈努力，更高抽气量产品的研发，我们也即将推出市场。