2024真空半导体装备及测量技术培训班圆满落幕

2024真空半导体装备及测量技术培训班圆满落幕  

    在半导体工业中，真空在半导体制造中非常重要，真空环境被用于各种制程。由上海市真空学会主办、真空半导体专业委员会协办的2024真空半导体装备及测量技术培训班于2024.11.10-14日在上海锦荣国际大酒店举办。

    培训班开幕式由上海市真空学会秘书王佳珍主持，此次出席开幕式的老师及嘉宾有复旦微电子学院教授卢红亮老师；上海市真空学会副理事长韩建华老师；纳峰真空镀膜集团公司高级经理赵盛福老师；埃地沃兹贸易（上海）有限公司总工马震老师；莱宝（天津）国际贸易有限公司博士龚原正老师；上海汉钟精机股份有限公司真空事业部副理薛军；复盛实业（上海）有限公司销售总监王为等。

  本次培训班的课程内容分别有：《半导体薄膜设备的应用及其国产化》——卢红亮老师、《化学气相沉积（CVD）技术及应用》——莫晓亮老师、《磁控溅射原理与技术》——沈杰老师、《电子束蒸发镀膜技术工艺及其应用》——朱齐冬老师、《电子束蒸发源的工作原理》——劳伟民老师、《阴极弧磁过滤技术及在半导体制造领域的应用》——赵盛福老师、《干式泵真空原理和其在半导体成膜领域的应用》——马震老师、《真空测量基础理论及几种典型真空计剖析》——周兆剑老师、《真空检漏技术》——龚原正老师。

    各位老师们从半导体应用到的真空镀膜设备的原理到技术到工艺开展了一系列的讨论和讲解。并通过现场问答环节，使上课气氛更轻松，大家积极提问，抓住这个近距离和设备厂家互动的机会。老师们毫无保留地与学员交流技术和心得体会。

      11月14日上午，培训班组织学员参观了莱库(苏州)半导体科技有限公司，夏西洋总经理团队给予热情的接待，并带领学员参观了工厂环境，详细介绍了公司在半导体领域的真空腔体的工艺特征及优势，以及航空领域的应用。莱库半导体具备从铝合金、不锈钢原材料、真空腔体焊接、精密加工、特种表面处理、千级洁净室装配等的全产业链优势！已经成功为国内外先进半导体、光伏、科研、光学真空设备提供摩擦搅拌焊铝合金腔体，一级洁净CVD/ PVD传输铝腔体，不锈钢超真空焊接腔体，喷淋电极板，超精密大型部件的制造服务商。经过参观和学习，让学员们感受到作为优秀航空产品供应商的责任与担当。

    下午，培训班参观了上海辰仪真空技术有限公司（昆山花桥新厂区），强小勇总经理团队们给予了热情的接待，辰仪作为上海市真空学会真空科普工作站重要基地，提供给学员一个近距离了解真空泵、真空计、检漏仪操作维护的平台，让学员更直观的了解到真空设备的结构和工作原理，从而提升了对真空系统的认知。

    经过5天的培训学习，学员们不管在理论上与实践能力上都得到显著提高。2025年上海市真空学会将一如既往的开展更多新颖主题的专题培训班来满足更多单位对人才和技术的需求。最后再次感谢为本次培训班精心编写教材和讲课的老师们，感谢学员们认真学习、积极互动、大力支持。

上海市真空学会

2024.11.18