（第三轮）中国真空技术与半导体应用大会通知
【第三轮会议通知】2023中国真空技术与半导体应用大会
暨半导体真空设备与零部件高端论坛
复创芯 2023-08-10 14:23 发表于上海
2023年8月20-22日，“2023中国真空技术与半导体应用大会暨半导体真空设备与零部件高端论坛”将于上海张江科学会堂（上海市浦东新区海科路1393号，地铁13号线学林路站1号口，步行420米）举办。
本次大会以“大会报告+分会报告+展览+墙报+晚宴交流”的形式召开，90个口头报告专家及30余个墙报，分别来自于半导体及真空技术领域知名科研院校、半导体制造企业、半导体真空设备及零部件企业。
届时，您将有机会与科研院校的课题组长、系主任、副院长、院长和学生等，产业界知名企业的董事长、总经理和CTO等进行面对面深度交流，探讨技术前沿，洞察产业发展，交流合作机会。诚邀您报名注册参会！
指导单位
中国中小企业发展促进中心
中国半导体行业协会
上海市经济和信息化委员会
上海市科学技术协会
主办单位
国家集成电路创新中心
上海市真空学会
上海市集成电路行业协会
财联社
承办单位
复旦大学微电子学院
复旦大学光电研究院
上海浦东人才发展有限公司
科创板日报
复创芯
上海市科普教育展示技术中心（上海市国际科技交流中心）
协办单位
浙江省真空学会
江苏省真空学会
安徽省真空学会
求是缘半导体联盟
上海市科技发展基金会
中国传感器与物联网产业联盟
复旦大学国家大学科技园
浦东国际人才驿站
支持媒体
中国真空网、上海真空学会网
真空技术与设备网、半导体行业联盟
大同学吧
支持期刊
半导体学报、Nano-Micro Letters
Nanomaterials、Coatings、《真空》
会议议程
2023年8月21日
备注：大会报告30分钟，分会报告20分钟
8月21日 9:00-12:00 (2楼科创厅)
开幕式、大会报告
开幕式
主持人：
张卫-复旦大学微电子学院院长、国家科技02重大专项技术副总师、大会主席
09:00-09:30
领导、嘉宾致辞
09:30-10:30
大会报告1
智能时代下的功能薄膜与真空系统
褚君浩-复旦大学光电研究院院长，上海市真空学会名誉理事长，中国科学院院士
摩尔定律前沿器件结构和工艺技术的协同发展
俞少峰-复旦大学微电子学院教授、博导，广州增芯科技有限公司CTO
10:30-11:00
--茶歇与展览交流--
11:00-12:00
大会报告2
ALD在先进半导体芯片的应用及国产化展望
黎微明-江苏微导纳米科技股份有限公司副董事长兼CTO，国际ALD会议技术委员会成员
以技术创新推动半导体设备健康发展
刘二壮-美国哈佛⼤学博⼠后，普达特科技有限公司CTO、执⾏董事
12:00-13:30
--自助午餐--
8月21日 13:30-15:10 (302会议室)
分会报告1：半导体真空设备及零部件-1
半导体薄膜设备的机遇与挑战
陈 浩-上海陛通半导体能源科技股份有限公司副总裁/市场销售部总经理
面向半导体产业的分子泵设计与结构优化方法
王晓冬-东北大学教授、博导，真空过程与装备系主任，国际真空科学技术及应用联合会（IUVSTA）中方委员
PVD镀膜和离子注入用低温泵系统的研制
汤洪明-哈尔滨工业大学博士，苏州八匹马超导科技有限公司总经理
真空腔体-芯片制造的基础设施之一
刘树华-常州市乐萌压力容器有限公司副总经理
大尺寸脉冲激光分子束外延技术
殷立峰-复旦大学教授、博导，物理系副系主任
15:10-15:40
--茶歇与展览交流--
8月21日 15:40-18:00（302会议室)
分会报告2：半导体真空设备及零部件-2
OEM让IC设备制造不再难
俞 强-爱发科真空技术（苏州）有限公司总经理
面向国家重大需求的前沿真空技术
王旭迪-合肥工业大学真空与过程装备系教授、博导
超高真空设备的精密运动平台开发与应用研究
杨晓峰-复旦大学微电子学院、工研院双聘教授、中国半导体集成电路零部件联盟副理事长、上海隐冠半导体技术有限公司首席科学家
气体系统在半导体发展的关键地位
范志旻-昆山新莱洁净应用材料股份有限公司总监，绿色供应链国家标准工作组组员
离子注入关键真空零部件
刘雪华-上海凯世通半导体股份有限公司采购总监
高真空环境下的先进半导体制造技术
丁孙安-南京大学集成电路学院特聘教授、博导
I/O模块国产化加速突围-揭秘硬核科技
张良敏-昆山兴威联电气有限公司市场总监
5:10 (303会议室)原子层沉积设备与工艺-1
面向集成电路自对准工艺的选择性原子层沉积研究
陈 蓉-华中科技大学机械科学与工程学院教授、博导
ALD技术及其在先进逻辑器件中的应用
罗 军-中国科学院微电子研究所研究员，室主任
原子层沉积技术在新型光电子器件的应用
段 羽-吉林大学电子科学与工程学院教授、博导
ALD镀膜在半导体设备核心部件中的应用
刘春亮-青岛四方思锐智能技术有限公司 ALD销售总监
原子层沉积技术：从工艺到器件到装备
丁星伟-上海大学机自学院副教授
15:10-15:40
--茶歇与展览交流--
8月21日 15:40-18:00 (303会议室)
分会报告4：半导体关键材料与技术
规模化应用在即的功率半导体材料—碳化硅
皮孝东-浙江大学教授、博导，浙江省真空学会理事长，浙江大学半导体材料研究所所长、浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院副院长
半导体靶材产业现状及国产化突围之关键
吴丽君-北京有色金属研究总院材料学博士，漳州市合琦靶材科技有限公司总经理
单晶金刚石材料及高性能同位素
朱嘉琦-哈尔滨工业大学教授、博导，科技部重点专项、装备发展部领域专家，高效焊接新技术国家工程研究中心副主任
关于滤波器SAW芯片制备高均匀性膜层解决方案
左成成-苏州佑伦半导体事业部技术销售总监
优质的ALD源是怎样炼成的
赵 卉-苏州欣家园化学科技有限公司小辣椒品牌产品经理、博士
高迁移率/高稳定性AOS TFT的关键问题研究：从靶材到器件
曹鸿涛-中国科学院宁波材料所研究员、博导
硼掺杂金刚石制备技术及其应用进展
邓泽军-中南大学材料院 讲师
8月21日 13:30-15:10 (304会议室)
分会报告5：半导体器件及其应用-1
基于新型神经形态器件的人工突触/神经元及类脑神经网络
蔡一茂-北京大学教授、博导，集成电路学院院长
氧化物功能薄膜与器件：20年研究历程与体会
万 青-南京大学电子科学与工程学院教授、博导
高密度存储及神经形态计算器件的关键技术及潜在产业应用
马忠元-南京大学电子科学与工程学院教授、博导
氧化物赝二极管的神经形态功能仿生
竺立强-宁波大学微电子系教授、博导
喷墨打印极性驻极体突触晶体管及其电导调制特性研究
陶瑞强-华南师范大学华南先进光电子研究院特聘副研究员
15:10-15:40
--茶歇与展览交流--
8月21日 15:40-18:00 (304会议室)
分会报告6：宽禁带半导体材料、器件及应用
Si基GaN器件及系统研究与产业前景
于洪宇-南方科技大学教授、博导，深港微电子学院院长，深圳第三代半导体研究院副院长
氧化镓功率电子器件
龙世兵-中国科技大学教授、博导，微电子学院执行院长
面向复杂电气环境的高能效氧化镓功率二极管
叶建东-南京大学电子科学与工程学院教授、博导
宽禁带半导体辐射探测器
梁红伟-大连理工大学教授、博导，微电子学院院长
沟槽氧化镓SBD功率器件及应用
刘文军-复旦大学微电子学院教授、博导
超宽禁带半导体-氮化铝晶体PVT制备研究
武红磊-深圳大学教授、博导，物理与光电工程学院副院长
真空技术在SiC-MOS器件研究中的应用
李秀妍-上海交通大学微纳电子学系副教授、博导
8月21日 13:30-15:10 (305会议室)
分会报告7：真空显微与焊接技术
大规模集成电路制造中高效电子束直写技术的思考
王琦龙-东南大学教授、博导，江苏省真空学会秘书长
超快光电子显微镜在微纳光电子领域的应用
孙 泉-北京大学长三角光电科学研究院副院长
钎焊及扩散焊技术研究进展
林铁松-哈尔滨工业大学教授、博导，先进焊接与连接国家重点实验室副主任
固相搅拌摩擦焊技术让真空更可靠
吉 华-上海同芯构技术有限公司总经理
中科九微真空零部件在半导体行业应用
司马晓虎-中科九微科技有限公司标准品销售部总经理
15:10-15:40
--茶歇与展览交流--
8月21日 15:40-18:00 (305会议室)
分会报告8：真空技术与半导体器件
MEMS芯片器件真空封装中无源真空维持材料研究
侯雪玲-上海大学材料科学与工程学院材料研究所研究员、博导
半导体/Bi2Se3范德华异质结原位构筑及其光电探测器研制
张万里-电子科技大学教授、博导，微电子学院院长
范德华集成技术调控二维半导体器件界面
廖 蕾-湖南大学教授、博导，集成电路学院院长
应用半导体器件的真空镀膜技术
方应翠-合肥工业大学机械工程学院教授、博导，中国真空学会薄膜专委会委员，安徽省真空学会副理事长
晶圆级单晶薄膜的磁控溅射外延
曹彦伟-中国科学院宁波材料技术与工程研究所研究员、博导
基于UHV-CVD技术的硅上锗及锗锡材料异质外延及应用研究
徐 驰-中国科学院半导体研究所研究员、博导
新型钙钛矿光电材料与器件及先进表征
杨迎国-复旦大学微电子学院青年研究员
会议议程
2023年8月22日
8月22日 08:30-10:30 (303会议室)
分会报告9：半导体器件及应用-2
后摩尔时代新型铁电存储器关键技术探究及其应用前景
周益春-西安电子科技大学先进材料与纳米科技学院教授、博导
铪基氧化物薄膜中物理效应调控及其器件应用
康晋锋-北京大学集成电路学院教授、博导，北京大学上海微电子研究院副院长
原子层沉积柔性存算一体器件技术研究
陈 琳-复旦大学微电子学院教授、博导
后摩尔时代的铪基氧化物薄膜
牛 刚-西安交通大学电子与信息工程学院教授、博导
HZO铁电薄膜与电极界面研究
董 红-南开大学电子信息与光学工程学院教授、博导
铁电晶体管存储器设计工具与芯片化
陈 冰-西安电子科技大学杭州研究院研究员
10:30-10:50
--茶歇与展览交流--
8月22日 10:50-12:30 (303会议室)
分会报告10：真空技术与半导体应用
EAST全超导托卡马克真空技术及其对高温等离子体性能提升的作用
胡建生-中国科学院等离子体物理研究所研究员、博导，安徽省真空学会理事长
Optorun设备在泛半导体领域的解决方案介绍
庄明宇-上海光驰半导体有限公司开发部部长
RTP退火技术在先进MOSFET研究中的应用
王盛凯-中国科学院微电子研究所研究员、博导
RG Generator国产替代与创新实践
党 军-上海鳗微科技有限公司CEO
流体旁路器在气体流量测控过程的应用
王 哲-夏罗登工业科技（上海）股份有限公司 销售总监
8月22日 08:30-10:30 (304会议室)
分会报告11：半导体真空设备、零部件及测试
半导体设备多物理场环境中气体压力测量方法及重要性
王国栋-合肥工业大学机械工程学院真空与过程装备工程系系主任
半导体真空计量检测技术进展
王 欢-北京东方计量测试研究所真空事业部部长、高级工程师
硅基真空纳米电子源
佘峻聪-中山大学教授、博导，微电子学院院长
基于MEMS芯片的宽量程皮拉尼真空传感器
焦斌斌-中国科学院微电子研究所研究员、博导，工信部“制造基础技术与关键部件”领域专家
集成铁电传感器及应用
耿文平-中北大学教授、博导，集成电路设计与集成系统系系主任
离子阱质谱分析器在半导体真空排气中的应用
马 震-埃地沃兹贸易（上海）有限公司半导体真空业务开发经理
10:30-10:50
--茶歇与展览交流--
8月22日 10:50-12:30 (304会议室)
分会报告12：原子层沉积设备与工艺-2
原子层沉积：综述和未来展望
Tien Chien Jen-南非约翰内斯堡大学教授、博导，国家科学院院士
原子层-分子层沉积栅介质材料及薄膜晶体管器件应用
王新炜-北京大学深圳研究生院新材料学院研究员
多功能模块化原子层沉积设备及其在光电器件功能层纳米制造中的应用
冯 昊-西安近代化学研究所研究员、博导
超低介电薄膜材料的结构调控与区域选择性沉积
赵俊杰-浙江大学研究员、博导，化学工程与生物工程学院院长助理
原子层沉积过程和装备的多尺度模拟
庄黎伟-华东理工大学化工学院副教授
8月22日 08:30-10:30 (305会议室)
分会报告13：半导体晶体管与显示器件
Micro-LED材料与器件、集成工艺及应用
刘 斌-南京大学教授，电子科学与工程学院副院长
真空技术在氧化物薄膜晶体管研制中的应用
张 群-复旦大学材料系教授、博导、中国真空学会理事、TFT-LCD关键材料及技术国家工程实验室副主任
面向Micro-LED显示应用的氧化物薄膜晶体管阵列开发及产业前景
单福凯-青岛大学教授、博导，微电子学院副院长
高迁移率氧化物薄膜晶体管
李喜峰-上海大学微电子学院教授、博导、上海市真空学会副理事长
高k栅介质的设计、界面调控及器件集成
何 刚-安徽大学材料学院教授、博导，安徽省真空学会副理事长
面向显示的氮化镓基Micro-LED
陶 涛-南京大学电子科学与工程学院副教授
10:30-10:50
--茶歇与展览交流--
8月22日 10:50-12:30 (305会议室)
分会报告14：集成电路先进逻辑工艺与器件
集成电路先进逻辑工艺发展趋势：从立体鳍式场效应晶体管到纳米片晶体管的演化
刘 洋-杭州积海半导体体有限公司董事
高密度高可靠DRAM关键技术探讨
纪志罡-上海交通大学教授、博导，微纳电子学系副系主任
“后摩尔时代”自旋芯片技术
张 悦-北京航空航天大学教授、博导，集成电路学院常务副院长
未来高性能Ge沟道集成电路器件
张 睿-浙江大学教授、博导，微纳电子学院副院长
新型铁电存储芯片产业化应用研究
江 钧-复旦大学微电子学院青年研究员
12:30-13:30
--自助午餐--
8月22日 13:30-17:40 (2楼科创厅)
大会报告、圆桌论坛及颁奖典礼
13:30-13:50
上海浦东人才政策介绍
13:50-15:20
大会报告3
半导体功率器件制造工艺发展历史、现状与未来趋势及中国产业相关核心技术、装备和人才现状
周 华-上海积塔半导体有限公司总经理
微观加工设备的重要性和发展策略
陶 珩-中微半导体 (上海)股份有限公司集团副总裁，LPCVD产品部和公共平台工程部总经理
尖端仪器对先进半导体产业变革
唐文新-重庆大学特聘教授,超瞬态装置实验室主任，电子显微镜中心科研合作主任
15:20-15:40
--茶歇与展览交流--
15:40-16:40
大会报告4
半导体市场应用趋势与晶圆代工产业合作模式创新
吴永君-粤芯半导体技术股份有限公司销售副总裁，复旦大学校友会集成电路分会副秘书长
2023年中国半导体设备与材料投资深度分析
赵占祥-云岫资本合伙人兼CTO
16:40-17:20
--圆桌论坛--
01
新应用推动下新设备、新材料、新工艺和新器件的新变革
02
以真空技术为纽带，半导体设备、零部件、材料和Fab公司如何与院校协同创新
03
新形势下如何产教融合，培育半导体设备、工艺及器件行业来之能战的专才
卢红亮-复旦大学微电子学院教授、博导，大会执行主席（主持）
吕光泉-拓荆科技股份有限公司董事长
潘建清-天通高新集团董事长
冯剑松-江苏南大光电材料股份有限公司董事长
宋维聪-上海陛通半导体能源科技股份有限公司董事长
李煜淳-复旦大学微电子学院博士研究生
17:20-17:40
--颁奖典礼--
（备注：日程时间安排以会议当天公布为准，主办方将保留解释权。）
参会注册报名
01
注册费：2800元，学生优惠：1800元（费用包括会场费、全套会议资料、午餐、茶歇、欢迎晚宴等）
02
缴费方式：注册费缴纳采用转账汇款或者现场缴费的方式进行，不收现金。现场缴费可通过刷卡、微信、支付宝支付，并开具电子增值税普通发票。
（1）转账汇款信息如下：
账户名：上海复创芯半导体科技有限公司
账 号： 310066344013005923958
开户行：交通银行股份有限公司上海同济支行
开户银行行号：1023 6100 2264
（2）线上扫码缴费：
（备注：缴费时请备注 “姓名+单位”，以便查询及开具发票）
赞助单位展览
参会单位（字母排序，滑动阅览）
（名单持续更新中）
埃地沃兹（上海）贸易有限公司
爱发科真空技术（苏州）有限公司
安徽大学
安徽敦茂新材料科技有限公司
安徽万瑞冷电科技有限公司
北京艾迪佳业技术开发有限公司
北京北仪优成真空技术有限公司
北京大学
北京大学深圳研究生院
北京大学长三角光电科学研究院
北京德仪天力科技发展有限公司
北京东方计量测试研究所
重庆大学
常州市乐萌压力容器有限公司
诚联恺达科技有限公司
东北大学
东电电子（上海）有限公司
东莞市沃成科技有限公司
飞卓科技（上海）股份有限公司
费勉仪器科技（上海）有限公司
复旦大学微电子学院
复旦大学光电研究院
复旦大学材料科学系
复奇普半导体科技（嘉兴）有限公司
光驰半导体技术（上海）有限公司
广舜检测技术（上海）有限公司
哈尔滨工业大学
海门市海真真空设备有限公司
杭州积海半导体有限公司
杭州科能工控技术有限公司
杭州乾晶半导体有限公司
杭州萨莫雷斯科技有限公司
合肥工业大学
合肥昱驰真空技术有限公司
泓浒（苏州）半导体科技有限公司
湖南辰皓真空科技有限公司
华东理工大学
华东师范大学
华南师范大学
嘉兴卓尔精密机械有限公司
江苏大明工业科技集团有限公司
江苏南大光电材料股份有限公司
江苏鹏举半导体设备有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
江阴市辉龙电热电器有限公司
金陵科技学院
昆山新莱洁净应用材料股份有限公司
南昌航空大学
南方科技大学
南非约翰内斯堡大学
南京大学
南京邮电大学
南开大学
宁波大学
宁波捷柯达真空阀门有限公司
宁波云德半导体材料有限公司
普达特科技有限公司
普发真空技术（上海）有限公司
普旭真空设备国际贸易(上海)有限公司
青岛大学
青岛四方思锐智能技术有限公司
日扬电子科技上海有限公司
山东力冠微电子装备有限公司
上海陛通半导体能源科技股份有限公司
上海畅桥真空系统制造有限公司
上海大学
上海大学机电工程与自动化学院
上海大学微电子学院
上海大学材料科学与工程学院
上海大族富创得科技股份有限公司
上海福宜真空设备有限公司
上海国际科学技术有限公司
上海积塔半导体有限公司
上海集成电路材料研究院有限公司
上海集加实业有限公司
上海科技大学
上海理工大学
上海鳗微科技有限公司
上海荏原精密机械有限公司
上海市科普教育展示技术中心（上海市国际科技交流中心）
上海同芯构技术有限公司
上海微电子装备 (集团) 股份有限公司
上海隐冠半导体技术有限公司
上海佑磁信息科技有限公司
深圳大学
神通半导体科技（南通）有限公司
苏州八匹马超导科技有限公司
苏州欣家园化学科技有限公司
苏州佑伦真空设备科技有限公司
苏州源展材料科技有限公司
拓荆科技股份有限公司
天通高新集团
无锡光润真空科技有限公司
西安电子科技大学
西安交通大学
西安近代化学研究所
夏罗登工业科技（上海）股份有限公司
佑伦装备（苏州）有限公司
粤芯半导体技术股份有限公司
云岫资本
漳州市合琦靶材科技有限公司
浙江艾微普科技有限公司
浙江博开机电科技有限公司
浙江大学微纳电子学院
浙江大学材料科学与工程学院
浙江飞越机电有限公司
浙江科威半导体材料有限公司
中晟光电设备（上海）股份有限公司
中国建设银行上海张江分行
中国科技大学
中国科学院半导体研究所
中国科学院上海光学精密机械研究所
中国科学院上海技术物理研究所
中国科学院微电子研究所
中科九微科技有限公司
中南创投
中南大学
中山大学材料科学与工程学院
中微半导体(上海)股份有限公司
中信银行张江支行
浦东国际人才驿站免费住宿申请
及高校青年人才“看浦东”活动招募
01
（一）免费住宿申请
本次大会同时由浦东国际人才驿站为部分符合条件的非沪高校师生，提供8月20日-8月23日（四天三晚）的免费住宿服务（教师30人，学生60人）。
1、住宿地点
张江纳仕国际社区（上海市浦东新区科农路99弄）
2、住宿标准
教师：独享套间，含独立卫生间、客厅、厨房等空间。
学生：独享套间内一间卧室，共享卫生间、客厅、厨房等空 间。
02
（二）高校青年人才“看浦东”活动招募
浦东国际人才驿站将从所有参加本次大会的学生中遴选出30名优秀大学生，参加8月23日的高校青年人才“看浦东”活动（含上海及浦东人才政策解读、参访知名半导体企业等），让青年学子读懂浦东的发展故事，在浦东找到个人的发展机遇。浦东国际人才驿站承担8月22日-8月24日（三天两晚）住宿、活动期间通勤费及餐费。
1. 大会联系人：刘老师，电话 13918283051
2. 驿站联系人：杨老师，电话 021-68821081
会务组联系方式
会议Email：kjyzy@fudan.edu.cn
院校师生报名联系人：
刘老师，13918283051
企业报名联系人：
王老师，13817092767
会议公众号
微信扫一扫
关注该公众号
